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氟化钽
- 发布日期： 2025-12-09
- 更新日期： 2026-08-11
产品详请
| 品牌 |
润丰
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| 货号 |
合格
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| 型号 |
合格品
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| 外观 |
粉末
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| 包装规格 |
袋装
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| 纯度 |
0-99%
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| CAS编号 |
7783-71-3
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| 别名 |
五氟化钽
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| 执行质量标准 |
企标
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| 厂家（产地） |
江苏
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化学性质 五氟化钽为易挥发的、具有吸潮性的、白色的单斜晶系结晶。
用途 用于钽的化学气相沉积和离子注入掺杂，还用于有机化合物合成催化剂。
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作为工业上分离铌和钽的核心原料，利用其与氟离子形成可溶性配离子的特性实现两种元素高效分离。
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用于微电子工业的化学气相沉积工艺，制备硅化钽低电阻高熔点互连线、栅极，也可在元器件表面生成高介电率的超薄绝缘薄膜。
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用作傅-克反应的催化剂，同时也是高端钽电容器生产的关键原材料。
联系方式
